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国产光刻机进展太慢?重点不是这个
桐城一派|突发!湖南省财政厅厅长刘文杰坠楼身亡
光刻机,官宣了!
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某首席朋友圈 SSMB
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金融圈小伙伴
2024年09月05日 17:59
张口就提到SSMB光刻厂,还叫我研究下,怀疑他经常看大A段子
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附录 什么是ssmb
SSMB(稳态微聚束)是一种新型的粒子加速器光源技术,由清华大学的研究团队提出,并在《自然》杂志上发表了相关论文。这项技术通过使用激光脉冲操控电子束,使其在加速器中形成微结构,从而产生高强度、窄带宽的相干光。这种光源的潜在应用之一是作为未来EUV(极紫外)光刻机的光源,这对于集成电路芯片制造中的关键步骤——光刻——具有重要意义。
SSMB技术的优势在于它能够提供高平均功率和高稳定性的光源,这对于EUV光刻机来说是核心的需求。目前,全球芯片制造领域对EUV光刻机的依赖度很高,而这种光刻机的关键技术主要掌握在荷兰ASML公司手中。SSMB技术的出现,为打破这种垄断提供了可能性,尤其是在光源这一关键技术上。
然而,尽管SSMB技术在理论上具有优势,但从实验室到实际工业应用还有很长的路要走。它需要解决稳定性、规模化生产和成本控制等一系列工程问题。此外,SSMB技术还需要与现有的芯片制造工艺相兼容,这可能需要对现有的生产线进行改造。
目前,清华大学正在推动SSMB EUV光源在国家层面的立项工作,并已向国家发改委提交了相关项目建议书,希望将其纳入“十四五”国家重大科技基础设施。这表明中国在光刻机技术领域的自主研发正在积极推进,SSMB技术可能是实现这一目标的关键路径之一。
总的来说,SSMB技术为光刻机的研发提供了新的思路和可能性,但要实现商业化应用,还需要克服许多技术和工程上的挑战。未来几年将是关键时期,我们拭目以待这一技术的发展和应用。
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